
ASML一直在阐述中国市场的重要性,强调会继续和中国市场保持开放合作。
(资料图)
但是有些事情不是ASML说了算的,美国规则限制ASML 不能自由出货EUV光刻机,这一次荷兰也站在美国一方,阻碍ASML出货先进光刻机设备。有外媒表示:荷兰把ASML事件闹大了。
EUV和DUV光刻机是ASML最核心的两大业务板块,前者只能出货给特定客户,大陆企业无法购买,ASML因此损失了不少订单机会。后者能持续自由出货,不过随着荷兰与美国达成协议之后,情况也不好说了。
根据荷兰表示,计划对半导体技术出口实施新的限制以保护国家安全,加入美国限制出口的行列。
荷兰预计会在夏季实施新规,ASML也在限制范围内。很显然,这又是美国的暗箱操作,西方以“国家安全”为由进行的限制措施屡见不鲜,说是为了“国家安全”,其实是担心其它国家掌握先进技术,然后实现追赶超越。
光刻机作为商品,本该放在商业市场上自由交易,设备买卖由合作双方来决定,不应该上升到更高的层面。
可西方还是这么做了,且没有回头的迹象。ASML作为局内人,自然不可避免受到影响,ASML能做的就是尽力降低影响,维护与客户的合作关系。
于是在荷兰正式站队之后,ASML就发布声明强调并不是所有浸润式光刻机都被限制,只涉及最先进的浸润式光刻系统,即TWINSCAN NXT:2000i及以后的浸润式光刻机。
也就是说,只有比NXT:2000i低端的设备才能出货,比如NXT:1980Di。
这款NXT:1980Di型号设备支持14nm芯片生产,如果能利用多重曝光技术,或许能下探到7nm,但由于精度有限,达不到更先进设备的生产品质。强行量产7nm芯片的话,可能会出现良率过低,成本高,制造难度较大等方面的问题。
保守来看的话,NXT:1980Di适合用于28nm到14nm等成熟芯片量产。尽管ASML能够继续为中企提供较为低端的DUV浸润式光刻机,但难以改变ASML深陷规则的事实。有外媒表示,荷兰把ASML事件闹大了,从两个方面得以验证。
第一个方面:荷兰会给ASML市场运营带来更大变数。
ASML努力调和客户与产业链合作的关系,不希望美国继续实施规则,直言这会导致全球供应链中断。ASML站在自由贸易的角度争取合作机会,维持在中国市场的运营,甚至加大中国团队的招募力度,为的就是能在中国市场站稳脚跟。
荷兰做出了自己的选择,无疑会给ASML市场运营带来更大的变数,出货范围的缩小会影响ASML未来的销售利润,损失潜在的客户订单。
中国大陆是ASML第三大市场,2021年出货量占ASML全球出货总量的16%,到了2022年,ASML对中国大陆的出货量下滑到了全球占比的14%。
如果持续下滑,ASML在中国大陆是怎样的运营状况就不好说了。
第二个方面:限制会让中国加速自研光刻机。
光刻机是非常复杂的半导体设备,负责将芯片图案曝光在晶圆表面。最高端的EUV光刻机波长为13.5nm,是生产7nm,5nm高端芯片的必要设备。内含10万个零部件,涉及5000多家供应商,是人类几十年来智慧的结晶。
虽然靠一个国家地区单独生产EUV光刻机难度很大,几乎是不可能的,但ASML还是担心限制会让中国加速自研光刻机。
也许短期内达不到EUV光刻机的水准,但DUV光刻机却是大有可为。DUV光刻机包含三种制程类别,分别为KrF、ArF、ArFi,最高端的是ArFi,这也是ASML目前被限制的主要范围,在ArFi之中的NXT:1980Di浸润式光刻机才能够被自由出货。
上海微电子是唯一的芯片制造光刻机厂商,拥有设计,集成制造光刻机的能力。量产的光刻机能够实现90nm芯片制造,更先进的制程还在研发当中。
如果上海微电子掌握193nm光波长ArF浸润式光刻机核心技术,有望实现阶级式的跨越。
荷兰把ASML事件闹大了,ASML在大陆市场的运营将出现更多的变数,客户或许会重新调整光刻机产业链合作,以及促使中国加快自研光刻机,用国产替代进口。
当然,在能够合作的范围内,依然可以保持合作。与此同时,自研项目不能落下,做到两手抓。双管齐下,才能带来更大的破局希望。
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